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MEMS系統(tǒng)主要由( )部件組成。A. 微傳感器、微執(zhí)行器、通信接口和電源B. 微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通信接口和電源C. 微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通信接口和電源、存儲D. 微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通信接口和電源、操作系統(tǒng)和應(yīng)用程序
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